六氟化硫是在高温下硫和氟反应制得（即：S+3F2→SF6 ），六氟化硫在常温常压下为无色无臭无毒的气体。不燃烧导热系数比空气小，为优良的冷却介质。其独特稳定的正八面体分子结构，使其化学性能也极不活泼，在电气设备运行正常范围内，与铜、钢和铝等电气材料不起化学反应。没有腐蚀性，药物学性质不活泼，没有毒。微溶于水。
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